?? DZ270热阻蒸发系统 - 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
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DZ270热阻蒸发系统
编号:1
类别:蒸发镀膜设备
  • 产品概述
  • 规格参数
  • 服务支持

    设备用途

        适用于制备金属薄膜等,可用于科研单位进行新材料m5彩票登入、新工艺薄膜研究工作,也可用于大批量生产前的试验工作。

     

    设备组成

        该设备主要由金属源蒸发沉积室、真空排气系统、真空测量系统、蒸发源、样品加热控温、电控系统m5彩票登入、配气系统等部分组成。

    极限真空度:6.6x10-5Pam5彩票登入;

    抽速:从大气抽至5x10-4Pa≤30min;

    样品尺寸:Φ80mmx1片;

    热阻蒸发组件:3套;

    分子泵系统:1套;

    真空计组件:1套m5彩票登入m5彩票登入;

    石英晶体振荡膜厚监测仪(1个探头):1套;

    冷却水循环机及水路组件:1套;

    公司:中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司 

    地址:沈阳市浑南新区新源街1

    销售电话:024-23826899、024-23826855

    售后电话:024-23826838

    传真:024-23826828

    邮箱:sales@sky.ac.cn

    网址:www.api-steel.com

    开户行:建行沈阳浑南新区产业园分理处

    账号:2100 1394 6010 5958 1266

    纳税号:912101 0041 0581 2660

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